物理气相沉积是通过蒸发，电离或溅射等过程，产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面。物理气象沉积方法有真空镀，真空溅射和离子镀三种，目前应用较广的是离子镀。        

        物理气相沉积技术表示在真空条件下，采用物理方法，将固体或液体表面汽化成气态原子、分子或部分电离成离子，使之相互碰撞并产生多种反应，且在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜技术。

        物理气相沉积镀层材料非常广泛，可镀各种金属、合金、氧化物、氮化物、碳化物等化合物镀层，也能镀制金属、化合物的多层或复合层、镀层附着力强、工艺温度低、工件一般无受热变形或材料变质等问题，且镀层纯度高、组织致密，工艺过程主要由电参数控制，易于控制、调节，对环境无污染。 

        物理气相沉积技术目前在刀具、模具、建筑装饰、特殊薄膜材料、电学及医学领域得到广泛的应用。